目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-60-3TH-Q1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD氣相沉積系統(tǒng)
1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD氣相沉積系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐和三路浮子流量計(jì)組成。管式爐三個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫，通過調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD氣相沉積系統(tǒng)采用全彩高清觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì)，可以較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面，可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目 | 明細(xì) |
供電電壓 | AC220V，50Hz |
MAX功率 | 5KW |
加熱溫區(qū) | 220mm+440mm+220mm |
工作溫度 | 1100℃ （1200℃＜1h） |
控溫精度 | ±1℃ |
升溫速率 | 建議≤10℃/min |
控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區(qū)獨(dú)立控制，帶有過熱和斷偶保護(hù) |
爐管材質(zhì) | 高純石英 |
爐管尺寸 | φ60mm O.D×1300mm L |
氣體通道 | 三通道質(zhì)量流量計(jì) |
氣體量程 | A：100sccm B：300sccm C：500sccm |
系統(tǒng)真空 | 5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵） |
免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)，僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r(shí)，會造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異，請與本公司銷售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，本公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您見諒。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
1
化工儀器網(wǎng)