目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-50-III-3TH-Q1200℃三溫區(qū)高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)
1200℃三溫區(qū)高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫，通過調(diào)節(jié)各個溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。每個溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護(hù)功能。1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計和機(jī)械式壓力表，可以用來控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達(dá)到1.0E-3pa真空度，較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實驗環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
1200℃三溫區(qū)高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
真 空 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號 | CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q | ||
爐管材質(zhì) | 高純石英 | |||
爐管直徑 | 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） | |||
爐管長度 | 1300mm | |||
爐膛長度 | 1060mm | |||
加熱區(qū)長 | 300mm+300mm+300mm | |||
工作溫度 | 0～1100℃ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |||
顯示模式 | LCD | |||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | |||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-3Z | ||
氣體通道 | 3通道 | |||
測量部件 | 氣體質(zhì)量流量計 | |||
測量量程 | A通道：0～100SCCM H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。 | ||
B通道：0～300SCCM N2氣 | ||||
C通道：0～500SCCM Ar氣 | ||||
測量精度 | ±1.0%F.S | |||
管道耐壓 | 3MPa | |||
工作壓差 | 50～300KPa | |||
連接管道 | 304不銹鋼 | |||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | |||
接口規(guī)格 | 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
排 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-GZK103-A | ||
分子泵 | CY-600 | |||
前極泵 | 旋片泵 | |||
抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)：1.0E-3Pa | ||
旋片泵：1.1L/S | ||||
抽氣接口 | KF40 | |||
排氣接口 | KF16 | |||
真空測量 | 復(fù)合真空計：電阻規(guī)+電離規(guī) | |||
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
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