目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-50-4TH-Q全自動(dòng)CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2025-09-07 18:08:22瀏覽次數(shù)：141評(píng)價(jià)
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全自動(dòng)CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫；四路質(zhì)子流量計(jì)能夠準(zhǔn)確控制系統(tǒng)的供氣；全自動(dòng)CVD滑軌爐真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。
全自動(dòng)CVD滑軌爐氣相沉積系統(tǒng)操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做石墨烯的生長(zhǎng)、高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火，尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗(yàn)。
全自動(dòng)CVD滑軌爐技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目 | 明細(xì) |
供電電壓 | AC220V，50Hz |
整機(jī)功率 | 5KW |
工作溫度 | ≤1100℃ |
加熱速率 | 建議10℃/min |
爐管尺寸 | O.D.50mm-220mm-220mm（加熱區(qū)）-1200mm管長(zhǎng) |
控溫精度 | 0.1℃ |
溫區(qū) | 雙溫區(qū) |
混氣系統(tǒng) | 4路質(zhì)子流量計(jì)：100sccm1個(gè)；200sccm1個(gè)；500sccm2個(gè) |
真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
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