PE-HPCVD等離子增強(qiáng)物理化學(xué)氣相沉積

爐管材質(zhì)  

高純石英  

爐管直徑  

50mm  

爐管長度  

1200mm  

爐膛長度  

440mm  

加熱區(qū)長  

200mm+200mm  

工作溫度  

0～1100℃  

控溫精度  

±1℃  

控溫模式  

30段或50段程序控溫  

顯示模式  

高清全彩LCD觸控屏  

密封方式  

304不銹鋼真空法蘭  

供電電源  

AC:220V 50/60Hz  2.5kW  

RF輸出系統(tǒng)  

功率范圍  

0~300W可調(diào)  

工作頻率  

13.56MHz+0.005%  

工作模式  

連續(xù)輸出  

匹配阻抗模式  

能夠匹配，起輝均勻布滿爐管  

功率穩(wěn)定度  

≤2W  

正常工作反射功率  

≤3W  

放大反射功率  

≤70W  

諧波分量  

≤-50dBc  

整機(jī)效率  

≥70%  

功率因素  

≥90%  

供電電壓/頻率  

單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz  

控制模式  

內(nèi)控/PLC 模擬量/RS232/485通訊  

電源保護(hù)設(shè)置  

DC過流保護(hù)，功放過溫保護(hù)，反射功率保護(hù)  

冷卻方式  

強(qiáng)制風(fēng)冷  

起輝長度  

在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管  

蒸發(fā)舟  

工作溫度  

1300℃  

蒸發(fā)源  

鎢絲籃,可選配錐形氧化鋁坩堝  

熱電偶  

S型熱電偶  

工作電流  

≤30A   

*大功率  

500W  

供氣系統(tǒng)  

流量計(jì)  

四路質(zhì)子流量計(jì)  

流量范圍  

MFC1量程：0~200sccm  MFC2量程：0~200sccm  

MFC3量程：0~500sccm  MFC4量程：0~500sccm  

分別對應(yīng)氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、  

測量精度  

±1.5%F.S  

重復(fù)精度  

±0.2%FS  

線性精度  

±1%F.S.  

響應(yīng)時(shí)間  

≤4s  

工作壓力  

-0.15Mpa~0.15Mpa  

流量控制  

液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨(dú)控制  

進(jìn)氣接口  

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管  

出氣接口  

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管  

連接方式  

雙卡套接頭  

工作溫度  

5~45℃  

氣體預(yù)混  

配氣體預(yù)混裝置  

真空系統(tǒng)  

產(chǎn)品型號  

CY-GZK103-A  

分子泵  

渦輪分子泵  

前極泵  

雙極旋片泵  

抽氣速率  

分子泵：600L/S  

綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa  

旋片泵：1.1L/S  

極限真空  

5×10E-4Pa  

抽氣接口  

KF40  

排氣接口  

KF16  

真空測量  

復(fù)合真空計(jì)