卷對卷式太陽能電池片PECVD氣相沉積系統(tǒng)

卷對卷式太陽能電池片PECVD氣相沉積系統(tǒng)是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設(shè)備可用于線材的連續(xù)化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應(yīng)用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續(xù)生長。設(shè)備含卷對卷收放卷運(yùn)動模塊、1200℃雙溫區(qū)可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強(qiáng)模塊、真空系統(tǒng)以及三路質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)五部分，整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào)，機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)，可自動糾正轉(zhuǎn)速偏差，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣，從而保證了實(shí)驗(yàn)的精確性。

PECVD應(yīng)用領(lǐng)域：

1.微電子與半導(dǎo)體工業(yè)，介質(zhì)薄膜　低k介質(zhì)　多晶硅/非晶硅薄膜

2.光伏（太陽能電池）工業(yè)，氮化硅減反射鈍化膜　非晶硅/微晶硅薄膜太陽能電池

3.顯示技術(shù)（LCD/OLED），薄膜晶體管（TFT）陣列制造

4.光學(xué)領(lǐng)域，光學(xué)薄膜

PECVD優(yōu)點(diǎn)：

1.沉積溫度低

2. 薄膜質(zhì)量高

3. 良好的臺階覆蓋性和溝槽填充能力

4. 沉積速率較快

5. 廣泛的材料體系

卷對卷式太陽能電池片PECVD氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：