目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-50-200-3TH-Q1200℃高真空迷你CVD氣相沉積設(shè)備
1200℃高真空迷你CVD氣相沉積設(shè)備該組CVD設(shè)備為小型化CVD系統(tǒng)，核心是一款迷你管式爐，采用電阻絲加熱，設(shè)備*高溫度可達1200℃。儀器還包含一臺三路浮子流量計，一臺分子泵組，分別構(gòu)成了CVD的進氣和出氣部分。
特點
1. 爐管右側(cè)有數(shù)顯真空計，用以控制爐管內(nèi)部的真空度和氣氛環(huán)境。
2. 系統(tǒng)采用PID智能控溫，控溫精度能達到±1℃。
3. 管式爐在操作上采用溫控表操作，可預(yù)設(shè)控溫曲線，
4. 一鍵啟停，便于使用，能夠簡化實驗操作進而節(jié)約試驗時間。
5. 高真空分子泵組可以有效提高本低真空度，提高反應(yīng)產(chǎn)物的質(zhì)量。
1200℃高真空迷你CVD氣相沉積設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
| 1200℃迷你管式爐 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)200mm | |
| 恒溫區(qū)長 | 100mm | |
| 加熱元件 | 耐熱合金絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 工作溫度 | ≤1150℃ | |
| 升溫速率 | 建議≤10℃/min | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護 | |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
| 爐管尺寸 | φ50mm O.D x 450mm L | |
| 真空泵 | 機械泵 抽速1.1L/s | |
| 極限真空 | 5Pa |
| 三路浮子流量計 | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
| 氣路數(shù)量 | 三路 | |
| 承壓范圍 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | 160 SCCM (Air) | |
| 混氣罐容積 | 750mL | |
| 氣路材料 | 304不銹鋼 | |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接頭 |
| 分子泵組參 | 產(chǎn)品型號 | CY-GZK103-A | |
分子泵 | 渦輪分子泵 | ||
前極泵 | 雙極旋片泵 | ||
抽氣速率 | 分子泵：60L/S | 綜合抽氣性能： 30分鐘真空度可達：5×10E-3Pa | |
旋片泵：1.1L/S | |||
極限真空 | 5×10E-4Pa | ||
抽氣接口 | KF40 | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 復(fù)合真空計 | ||
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