目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1500-60-300-3TH-Q1500℃半導(dǎo)體薄膜CVD氣相沉積系統(tǒng)
1500℃半導(dǎo)體薄膜CVD氣相沉積系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設(shè)計，的設(shè)計能夠保證系統(tǒng)在1500℃運行穩(wěn)定**，加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒，能夠達(dá)到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達(dá)到更高的1700℃高溫。
系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，較為準(zhǔn)確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
1500℃半導(dǎo)體薄膜CVD氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
真 空 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號 | CY-CVD1500-60-300-3TH-Q | |
爐管材質(zhì) | 高純氧化鋁 | ||
爐管直徑 | 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) | ||
爐管長度 | 1000mm | ||
爐膛長度 | 400mm | ||
加熱區(qū)長 | 300mm | ||
恒溫區(qū)長 | 150mm | ||
工作溫度 | ≤1450℃ | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
顯示模式 | LCD | ||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-3F | |
氣體通道 | 3通道 | ||
測量部件 | 氣體浮子流量計 | ||
測量量程 | A通道：0～100ml/min H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。
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B通道：16～160ml/min N2氣 | |||
C通道：25～250ml/min Ar氣 | |||
測量精度 | ±2.0% | ||
管道耐壓 | 3MPa | ||
工作壓差 | 50～300KPa | ||
連接管道 | 304不銹鋼 | ||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
接口規(guī)格 | 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
排 氣 系 統(tǒng) | 機(jī)械泵 | 旋片泵 | |
抽氣速率 | 1.1L/S | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 電阻規(guī) | ||
極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
抽氣接口 | KF16 | ||
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