目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1500-60-300-3TH-Q1500℃碳納米管CVD氣相沉積系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2025-09-07 08:21:25瀏覽次數(shù)：78評(píng)價(jià)
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1500℃碳納米管CVD氣相沉積系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設(shè)計(jì)，的設(shè)計(jì)能夠保證系統(tǒng)在1500℃運(yùn)行穩(wěn)定**，加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒，能夠達(dá)到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達(dá)到更高的1700℃高溫。系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì)，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
1500℃碳納米管CVD氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
真 空 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-CVD1500-60-300-3TH-Q | |
爐管材質(zhì) | 高純氧化鋁 | ||
爐管直徑 | 60mm（可選配50mm、80mm、100mm） | ||
爐管長(zhǎng)度 | 1000mm | ||
爐膛長(zhǎng)度 | 400mm | ||
加熱區(qū)長(zhǎng) | 300mm | ||
恒溫區(qū)長(zhǎng) | 150mm | ||
工作溫度 | ≤1450℃ | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
顯示模式 | LCD | ||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-3Z | |
氣體通道 | 3通道 | ||
測(cè)量部件 | 氣體質(zhì)量流量計(jì) | ||
測(cè)量量程 | A通道：0～100SCCM H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 | |
B通道：0～300SCCM N2氣 | |||
C通道：0～500SCCM Ar氣 | |||
測(cè)量精度 | ±1.0%F.S | ||
管道耐壓 | 3MPa | ||
工作壓差 | 50～300KPa | ||
連接管道 | 304不銹鋼 | ||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
接口規(guī)格 | 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
排 氣 系 統(tǒng) | 機(jī)械泵 | 旋片泵 | |
抽氣速率 | 1.1L/S | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測(cè)量 | 電阻規(guī) | ||
極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
抽氣接口 | KF16 | ||
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