目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-60-3TH-Q1200℃低真空旋轉(zhuǎn)CVD氣相沉積系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2025-09-07 08:26:57瀏覽次數(shù)：98評(píng)價(jià)
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1200℃低真空旋轉(zhuǎn)CVD氣相沉積系統(tǒng)采用高純石英制作爐管。旋轉(zhuǎn)裝置為風(fēng)冷法蘭，摩擦傳動(dòng)，傾角（0-15°）任意可調(diào)。管式爐三個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫，通過(guò)調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域。1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來(lái)控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
如果您需要保持物料的單粒結(jié)構(gòu)（如在干燥或煅燒物料時(shí)），旋轉(zhuǎn)管式爐是您的理想選擇。爐管持續(xù)不斷的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和氣氛保護(hù)的結(jié)合應(yīng)用能使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果為您帶來(lái)理想的處理結(jié)果。
該設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)椋悍勰┮苯?、陶瓷、耐火材料、鋰電正?fù)極材料、新能源等行業(yè)顆粒粉末燒成、煅燒，測(cè)定材料。
1200℃低真空旋轉(zhuǎn)CVD氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
真 空 管 式 爐
| Max功率 | 4.5kw | |
爐管材質(zhì) | 高純石英 | ||
爐管直徑 | 兩端60mm，中間100mm | ||
爐管長(zhǎng)度 | 1400mm | ||
爐膛長(zhǎng)度 | 600mm | ||
加熱區(qū)長(zhǎng) | 200mm+200mm+200mm | ||
工作溫度 | 0～1100℃ | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
顯示模式 | 高亮數(shù)字顯示 | ||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
傾斜角度 | 0~15° | ||
轉(zhuǎn)速 | 0~20轉(zhuǎn) | ||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-3F | |
氣體通道 | 3通道 | ||
測(cè)量部件 | 氣體浮子流量計(jì) | ||
測(cè)量量程 | A通道：0～100ml/min H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類(lèi)，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶(hù)的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)和量程的流量計(jì)。 | |
B通道：16～160ml/min N2氣 | |||
C通道：25～250ml/min Ar氣 | |||
測(cè)量精度 | ±2.0% | ||
管道耐壓 | 3MPa | ||
工作壓差 | 50～300KPa | ||
連接管道 | 304不銹鋼 | ||
控制閥門(mén) | 304不銹鋼針閥 | ||
接口規(guī)格 | 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
排 氣 系 統(tǒng)
| 機(jī)械泵 | 旋片泵 | |
抽氣速率 | 1.1L/S | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測(cè)量 | 電阻規(guī) | ||
極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
抽氣接口 | KF16 | ||
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