目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-50-3TH-Q1200℃雙溫區(qū)CVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備
1200℃雙溫區(qū)CVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備由雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫，通過調(diào)節(jié)各個溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。每個溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護(hù)功能。1200℃雙溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
1200雙溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì)，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
1200℃雙溫區(qū)CVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
真 空 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號 | CY- O1200-50IIT | |
爐管材質(zhì) | 高純石英 | ||
爐管直徑 | 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） | ||
爐管長度 | 1000mm | ||
爐膛長度 | 440mm | ||
加熱區(qū)長 | 200mm+200mm | ||
工作溫度 | 0～1100℃ | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
顯示模式 | LCD | ||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-3Z | |
氣體通道 | 3通道 | ||
測量部件 | 氣體質(zhì)量流量計(jì) | ||
測量量程 | A通道：0～100SCCM H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 | |
B通道：0～300SCCM N2氣 | |||
C通道：0～500SCCM Ar氣 | |||
測量精度 | ±1.0%F.S | ||
管道耐壓 | 3MPa | ||
工作壓差 | 50～300KPa | ||
連接管道 | 304不銹鋼 | ||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
接口規(guī)格 | 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
排 氣 系 統(tǒng) | 機(jī)械泵 | 旋片泵 | |
抽氣速率 | 1.1L/S | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 電阻規(guī) | ||
極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
抽氣接口 | KF16 | ||
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