光學(xué)薄膜PECVD等離子增強(qiáng)型CVD系統(tǒng)

工作電源  

• AC208-220V，50/60Hz  

• 總功率：4KW  

單溫區(qū)管式爐  

• *高溫度：1100oC(< 2h) 連續(xù)工作溫度：1000℃  

• PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng)   

• 輸入功率：220V，單相，功率：1.5KW  

• 加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm，恒溫區(qū)：100mm   

• 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管   

等離子射頻電源  

• 輸出功率：0-150W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%）  

• 射頻頻率：13.56MHz(穩(wěn)定性：±0.005%)  

• *大反射功率：150W  

• 匹配：手動(dòng)匹配  

• 射頻輸出端口：50Ω、N型  

• 噪音：＜50dB  

• 冷卻: 空氣冷卻  

• 電源: 220VAC, 50/60Hz   

石英管  

• 高純石英管  

• 尺寸：φ50mm*1200mm L   

密封法蘭    

• 一對(duì)不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）  

真空泵（該部分為選配，單獨(dú)計(jì)費(fèi)）  

• 雙級(jí)真空泵   

• KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵   

3通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)（該部分為選配，單獨(dú)計(jì)費(fèi)）  

• 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的**控制（**度：±0.02%）   

• 流量范圍:   

一路: 0~100 SCCM   

二路: 0~200 SCCM   

三路: 1~200 SCCM   

• 電壓：220V AC 50/60Hz  

• 氣體進(jìn)出口配件：直徑6.35mm不銹鋼管  

• 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出  

尺寸和重量  

• 1400mm L x 600mm W x 1240mm H  

• 凈重：90kg    

質(zhì)保期  

• 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外）  

質(zhì)量認(rèn)證  

• CE認(rèn)證   

使用注意事項(xiàng)
  

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa   

• 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥   

• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)   

• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊  

• 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃  

• 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，使用時(shí)不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生。