目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-CVD1200-50-200-2TH-Q兩通道CVD氣相沉積系統(tǒng)
兩通道CVD氣相沉積系統(tǒng) 是一種用于制備高性能固體材料薄膜的技術(shù)。其核心原理是：將含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種氣態(tài)反應(yīng)物通入反應(yīng)室，在基片（如硅片）表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并生成固態(tài)薄膜沉積下來。
本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計并配有雙極旋片泵、水冷機、數(shù)字真空計且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實驗。
主要技術(shù)參數(shù)：
兩通道CVD氣相沉積系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格：
主要技術(shù)參數(shù) | ||
雙 溫 區(qū) 管 式 爐 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 |
真空控制 | 可通過參數(shù)設(shè)置，自動完成抽真空，恒壓工作 | |
爐管材料 | 高純石英 | |
爐管尺寸 | 直徑：50mm，長度1000mm | |
加熱溫區(qū) | 兩溫區(qū) | |
溫區(qū)長度 | 200mm+200mm | |
工作溫度 | 室溫～1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
升溫速率 | 建議10℃/min | |
控溫模式 | 可編程程序控溫 | |
密封方式 | 真空法蘭密封 | |
雙通道質(zhì)量流量計 | 氣體通道 | 兩通道 |
測量儀器 | 質(zhì)量流量計 | |
A路量程 | 氫氣：0～500SCCM | |
B路量程 | 氬氣：0～1000SCCM | |
連接管道 | 拋光不銹鋼管 | |
氣體緩沖器 | 1000ml | |
工作壓力 | ≦3Mpa | |
工作壓差 | 0.3MPa | |
管道接口 | 6.35mm卡套接頭 | |
真空泵 | 抽氣接口 | KF25 |
排氣接口 | KF25 | |
抽氣速率 | 24立方米/小時 | |
極限真空 | 5.0E-2Pa | |
電機功率 | 1100W | |
電機轉(zhuǎn)速 | 1440轉(zhuǎn)/分鐘 | |
真空計 | 傳感器類型 | 皮拉力 |
真空量程 | 1.0E-1Pa～1.0E5Pa | |
安裝方式 | 豎直放置 | |
工作電壓 | DC24V | |
相關(guān)配件 | 連接管道 | KF25波紋管1米長 |
聚四氟管5米 | ||
石英爐管1根 | ||
爐管塞子4個 | ||
爐鉤1支 | ||
防護(hù)手套1雙 | ||
真空法蘭1套（帶密封圈、針閥、氣路接頭） | ||
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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