| 產(chǎn)地類別 |
進(jìn)口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科沉積控制器
ULVAC 基于我們長期的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)開發(fā)了新型石英晶體沉積控制器。有助于提高氣相沉積工藝的質(zhì)量和可靠性。
日本ULVAC愛發(fā)科沉積控制器
日本ULVAC愛發(fā)科沉積控制器
特征
出色的速率穩(wěn)定性和分辨率使其適用于低速率控制。
能力值（CI 值）測量功能提高了晶體異常檢測能力。
可以同時(shí)控制多達(dá) 8 個(gè)源的氣相沉積。（添加選項(xiàng)）
通信方式支持以太網(wǎng)和 RS-232C。
可以保存各種日志數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)可以傳輸?shù)?USB 并在 PC 上進(jìn)行分析。
應(yīng)用
金屬薄膜或光學(xué)薄膜氣相沉積的厚度和速率控制
規(guī)格
| 頻率 | 測量范圍 | 4.00 至 3.00MHz @4MHz
5.00 至 3.50MHz @5MHz
6.00 至 4.50MHz @6MHz |
| 測量分辨率 | 1毫赫茲 |
| 顯示分辨率 | 1毫赫茲 |
| 沉積速率 | 測量范圍 *1 | 0.000 至 999.9?/s（0 至 99.99nm/s） |
| 測量分辨率 *2 | 0.0028?/s @4MHz
0.0018?/s @5MHz
0.0012?/s @6MHz |
| 顯示分辨率 *1 | 0.001 ?/秒 |
| 薄膜厚度 | 測量范圍 *1 | 0.000 至 9999k? （0 至 999.9μm） |
| 測量分辨率 *2 | 0.0028? @4MHz
0.0018? @5MHz
0.0012? @6MHz |
| 顯示分辨率 *1 | 0.001 千米 |
| 傳感器頻率 | 4MHz、5MHz、6MHz |
| 可安裝的傳感器數(shù)量（單個(gè)） | 2 個(gè)（可選擇添加一組 2 個(gè)傳感器，最多 8 個(gè)傳感器。 |
| 可安裝的傳感器數(shù)量（多個(gè)） | 2 個(gè)（可選擇添加一組 2 個(gè)傳感器，最多 8 個(gè)傳感器。 |
| 采樣率 | 100 毫秒 |
| 沉積程序數(shù)量 | 999 |
| 過程程序數(shù)量 | 99 |
| 數(shù)字輸入點(diǎn) | 14（可以選擇添加一組 14 個(gè)點(diǎn)，最多 56 個(gè)點(diǎn)。 |
| 數(shù)字輸出點(diǎn) | 8（可以選擇添加一組 8 個(gè)點(diǎn)，最多 32 個(gè)點(diǎn)。 |
| 模擬輸出點(diǎn) | 2（可以選擇添加一組 2 個(gè)點(diǎn)，最多 16 個(gè)點(diǎn)。 |
| 模擬輸出范圍 | -10 至 +10V |
| 通信方式 | 以太網(wǎng) （1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T）
RS-232C
USB（B 型，用于使用專用軟件設(shè)置） |
| 外部尺寸（寬 x 深 x 高） | CRTM-R1：約 480 x 320 x 130 毫米
CTM（-D）：約 80 x 152 x 53 毫米 |
| 重量 （kg） | CRTM-R1： 5.3 千克（安裝選件時(shí)最高可達(dá) 5.8 千克）
CTM（-D）： 0.6 千克 |
| 效用 | 交流 100 至 240V±10%，50/60Hz |
| 最大功耗 | 150瓦 |
| 合適的保險(xiǎn)絲 | 250V 2.5A （2 個(gè) 5 x 20mm） |
| IP 防護(hù)等級 | IP20 防護(hù)等級 |
| 過電壓類別 | 第二類 |
| 高度 | 海拔 2000m 以下 |
| 污染水平 | 2 |
| 經(jīng)營環(huán)境 | 溫度 5 至 40°C
濕度 20 至 85%RH（無冷凝） |
| 存儲(chǔ)環(huán)境 | 溫度 -10 至 60°C
濕度 20 至 85%RH（非通電，無冷凝） |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 約 30 分鐘 |
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | CE |
* 1：這是 Tooling = 100 且 Density = 1
* 2 時(shí)的值：這是 Tooling = 100 且 Density = 1 時(shí)轉(zhuǎn)換頻率分辨率的值。
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