湖南中崎科技有限公司
中級會員 | 第3年

18075173399

當前位置：湖南中崎科技有限公司>>機械備品備件>>ULVAC愛發(fā)科>> VPC-1100日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備

日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備

參   考   價: ￥ 8000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號VPC-1100

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地長沙市

更新時間：2025-06-30 14:42:07瀏覽次數(shù)：377次

聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)地類別 進口 應用領域 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備
它是一種采用電阻加熱公式的高速型真空沉積系統(tǒng)，在支架中存放了油擴散泵、油旋轉(zhuǎn)真空泵、皮拉尼真空計、閥門配管、電氣系統(tǒng)和壓力測量端口等緊湊所需的設備，并配備了鐘罩升降設備等。
它非常適合實驗， 如大基板尺寸的基礎研究開發(fā)。

日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備

日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備


特征

通過玻璃鐘罩易于查看，易于維護。

真空室可以在不停止主泵的情況下打開。

由于增加了蒸發(fā)電源和電極，因此可以同時進行蒸發(fā)和多層蒸發(fā)（最多四層）。

它是帶腳輪的易于移動的真空泵系統(tǒng)。

安裝的安全性可以通過調(diào)節(jié)器來確保。

規(guī)范

型VPC-1100 系列
規(guī)范極限壓力4.0×10-4
帕 1.3×10-4Pa（帶 LN 冷阱）
疏散時間4.0×10-3帕/10分鐘
10-4Pa臺/10min（帶LN冷阱）
真空室真空室玻璃鐘罩 （直徑 390mm × 350mm（高））
饋通套環(huán)20 個端口（側(cè)面 14 / 底部 6）
推薦基板尺寸（最大基板尺寸）※1□50mm ? □220mm（最大）
電源系統(tǒng)蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)3 點
蒸發(fā)電極 / 電源SEREM “PSE-150C" 1 組
0~10V 150A（Max）
排氣系統(tǒng)主泵※2油擴散泵（水冷） 1100L/sec
液氮捕集阱選擇
副泵油旋轉(zhuǎn)泵200L/min、2 泵
油霧捕集器選擇
作系統(tǒng)主閥蝶閥
副閥三通閥
自動泄漏閥選擇
控制手動控制
控制系統(tǒng)皮拉尼真空計GP-1G 系列
電離真空計選擇
設置外部尺寸 Body1235 毫米（寬）×836 毫米（深）×2155 毫米（高）
電源裝備
重量 Body313 千克
電源裝備

※1：顯示最大板尺寸的值，不考慮薄膜厚度分布。
※2：可安排渦輪分子泵 （TMP） 的規(guī)格。


效用

型VPC-1100 系列
所需功率身體200V 三相 50/60Hz 5.0kVA
電源100V 單相 50/60Hz 1.0kVA
接地端子D 級（接地電阻/100Ω 以下）
連接本體 3Φ 200VCabtyre 電纜（帶 R3.5-4 環(huán)形舌片端子） 4m
電源 1Φ 100V乙烯基電纜（帶插頭） 4m
需水量1.5 L/min （水溫 ： 20？25°C， 水壓 ： 200kPa （表壓））
連接（插座）Rp1/4 （帶軟管接頭 “Kantouch"）
推薦房屋※Tetoron 編織軟管 （外徑 15mm×內(nèi)徑 9mm）

※請準備冷卻水配管。


尺寸圖

VPC-1100 系列


日本ULVAC愛發(fā)科高速型真空沉積設備



會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏！
標簽：
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用：

提示

X
您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復您~
撥打電話
在線留言