| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 | 
				                    				                    				                
				             
				            
				            日本ULVAC愛(ài)發(fā)科真空搬運(yùn)機(jī)器人
ELEC-RZ 是一款基于“Model:COVOT"的出色功能和性能的小型、低成本的高真空兼容移載機(jī)器人。
 
				        
				            日本ULVAC愛(ài)發(fā)科真空搬運(yùn)機(jī)器人
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科真空搬運(yùn)機(jī)器人
特征
磁流體密封用于真空密封,可使用高達(dá) 10-6Pa 的高真空。
執(zhí)行器的小型化使其更緊湊,更容易安裝在設(shè)備中。
根據(jù)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、手?jǐn)?shù)等,有多種手臂可供選擇。
它使用具有出色作性的多功能顯示示教器。
規(guī)格
| 型 | 電 RZ | 
| 工作壓力區(qū)域 | 大氣壓~10-6Pa | 
| 晶圓尺寸 | 200 毫米/300 毫米 | 
| 持有的晶圓數(shù)量 | 1 件/2 件 | 
| 最大范圍 * | 1050 毫米 | 
| 旋轉(zhuǎn)角度 | ±210° | 
| 提升行程 | 50 毫米 | 
| 最小旋轉(zhuǎn)直徑 * | 964mm 取決于安裝臂 | 
| 有效載荷能力(包括手) | 1 千克 | 
| 作速度 伸縮式 | 伸縮 | 最大 2.5 秒 / 全行程 | 
| 把 | 最大 3.0 秒 / 180° | 
| 提升 | 最大 1.5 秒 / 20 毫米 | 
| 可重復(fù)的位置精度 | 伸縮 | ±0.1 毫米 | 
| 把 | ±0.1 毫米 | 
| 提升 | ±0.1 毫米 | 
| 示教器 | 附屬品 | 
| 控制器 | 分開 | 
*取決于安裝臂和手。
         中崎目前已獲得CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學(xué)、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛(ài)拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機(jī)、HAYASHI林時(shí)計(jì)、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué)、HORIBA堀場(chǎng)、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM脈沖、AND愛(ài)安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達(dá)、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權(quán)認(rèn)證。