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日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源

參   考   價: ￥ 2000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號RMG-1303

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地長沙市

更新時間：2025-06-27 16:07:21瀏覽次數(shù)：398次

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供貨周期 現(xiàn)貨 應用領域 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射頻電源，內(nèi)置輸出匹配器，適用于射頻濺射和等離子 CVD 蝕刻等等離子體工藝。匹配器和射頻電源的集成使其更小、更輕。它可以從低輸出進行控制，并且可以用于廣泛的領域，從研發(fā)應用到批量生產(chǎn)設備。

日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源

日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源


特征

功率低至 1W 即可控制

標配 500Hz~100kHz 脈沖射頻輸出功能 能夠以低輸出功率進行控制

標配外部同步引腳

單相 100V~220V / 50Hz~60Hz 輸入范圍廣

200mm×200mm×350mm/10kg，小巧輕便的電源

CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS

規(guī)格

型RMG-1303 系列
電源功能部分輸入電壓單相 AC100-220V
輸入容量700VA 以下
頻率13.56兆赫±0.01%
Forword 力量300W （50Ω 負載時）
匹配函數(shù)部分額定功率300 瓦
額定電流10 臂
額定電壓2500Vpp/-2500Vdc（標準） *1
輸出電極/選項2-M4（標準）/N，HN，DIN7/16 *2
公共部分冷卻方式強制風冷
尺寸尺寸
（W×D×H） 不包含
突起項		200×350×200（毫米）
重量約 10 公斤
標準CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS（歐洲）
*1 額定電壓可作為選項進行更改。
*2 可以選擇更改為連接器輸出類型。


         中崎目前已獲得CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機、HAYASHI林時計、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學、SIBATA柴田科學、HORIBA堀場、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM脈沖、AND愛安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權(quán)認證。

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