無液氦低溫探針臺(tái)/4寸返回列表頁

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產(chǎn)品型號(hào)CRX-6.5K

品牌Lake Shore

廠商性質(zhì)代理商

所在地上海市

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更新時(shí)間：2025-07-27 11:12:49瀏覽次數(shù)：144次

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產(chǎn)品簡介

CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性，為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。

詳情介紹

CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性，為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī)，開機(jī)后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經(jīng)濟(jì)性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的首丶選工具。

I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標(biāo)準(zhǔn)的。雙級(jí)閉循環(huán)制冷機(jī)允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。

CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內(nèi)工作，并可選擇擴(kuò)展20 K至675 K的高溫范圍。該系統(tǒng)可容納直徑高達(dá)51 mm（2 in）的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應(yīng)用。

設(shè)備參數(shù)：

溫度范圍
安裝2個(gè)探針臂	基礎(chǔ)溫度8 K，控制范圍8.5 K ~ 350 K
安裝4個(gè)探針臂	基礎(chǔ)溫度9 K，控制范圍9.5 K ~ 350 K
安裝6個(gè)探針臂	基礎(chǔ)溫度10 K，控制范圍10.5 K ~ 350 K
安裝PS-HTSTAGE選件（與樣品背面偏壓不兼容）	基礎(chǔ)溫度20 K，控制范圍20 K ~ 675 K
溫度穩(wěn)定性
基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制)	未說明
<10 K	±25 mK
11 K ~ 350 K	±10 mK
351 K ~ 675 K	±50 mK
真空
室溫	<5×10-4 Torr
基礎(chǔ)溫度	<1×10-5 Torr
最高溫度	<5×10-5 Torr
循環(huán)時(shí)間
總循環(huán)	6.25 h
抽真空	0.5 h
探針臺(tái)冷卻	3.5 h
探針臺(tái)升溫	2.25 h
樣品
最大尺寸	51 mm(2英寸)
樣品背光接口	不可選
樣品旋轉(zhuǎn)	不可選
樣品振動(dòng)	＜2 μm
探針配置
最大探針數(shù)	6
探針臂溫度計(jì)	用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架	＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架	連接樣品臺(tái)熱沉
探針臂支架	連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針	電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針	頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針	可用于電光測量
落針范圍	所有探針均可在直徑為25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針